Выполнены экспериментальные исследования формирования частиц оксидов металлов WO$_3 $, SnO$_2$ и ZnO из паров, образующихся при испарении исходного материала сфокусированным потоком сверхвысокочастотного (СВЧ) электромагнитного излучения с частотой 24 ГГц и плотностью потока энергии выше 10 кВт/см$^2 $. Удельная площадь поверхности порошков, полученных во всём диапазоне параметров процесса, составляла от 1{,}9 до $8{,}3 м^2/г$, что соответствует среднеповерхностному размеру частиц от 430 до 95 нм. Продемонстрирована возможность управления дисперсным составом получаемых порошков: увеличение потока закаляющего воздуха приводит к увеличению удельной площади поверхности получаемого порошка. Максимальная скорость испарения оксида WO$_3 $ составила 100 г/ч.