В работе описан прецизионный субдоплеровский спектрометр миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов длин волн с лампой обратной волны в качестве источника излучения. Используется эффект нелинейного насыщения спектральных переходов (метод провала Лэмба). Обсуждается разрешение спектрометра (примерно $5{\div}10$ кГц) и точность измерений абсолютных частот (порядка $1$ кГц) молекулярных переходов в диапазоне частот ниже $0,5$ ТГц. Спектрометр предназначен для получения точных экспериментальных данных в радиоастрономии и молекулярной спектроскопии, в частности, в работах по поиску вариации отношения массы протона к массе электрона в зависимости от времени и места во Вселенной. Приведены частотные записи провалов Лэмба на спектральных линиях молекул СО, OCS, H$_2$O, результаты измерения центральных частот ряда переходов и сравнение с результатами других работ. Высокая точность измерений позволяет использовать частоты молекулярных переходов в качестве вторичных стандартов частоты.