Авторы и название Год, том, номер, страница
Абрамов И.С., Голубев С.В., Господчиков Е.Д., Шалашов А.Г., Перекалов А.А., Нечай А.Н., Чхало Н.И.

Источник экстремального ультрафиолетового излучения на основе плазмы ксенона: принципы, новые результаты и перспективы для литографии

 Год 2024, том 67, выпуск 11/12 стр. 996