Резник А.Н.
 Статья на сайте eLibrary

Изучено влияние неидеальных эталонных нагрузок зондовой станции на точность измерения микроволнового спектра импеданса в процессе тестирования электронных устройств и материалов. На примере станции Cascade Microtech показано, что процедура калибровки с использованием стандартных нагрузок приводит к существенным ошибкам измерений. Сделан прогноз перспектив улучшения характеристик нагрузок с целью устранения погрешностей. Рассмотрена оригинальная методика измерения импеданса, свободная от указанных проблем.

На английском языке
Impedance spectroscopy using microwave probe measurements
Reznik A.N.

We studied the influence of imperfect reference loads of the probe station on the accuracy of microwave impedance spectrum measurement in the process of testing electronic devices and materials. Using Cascade Microtech station as an example, it is shown that the calibration procedure using standard loads leads to significant measurement errors. Prospects of improving the characteristics of loads in order to eliminate errors are given. An original method of impedance measurement, free from these problems, is considered.

DOI: https://doi.org/10.52452/00213462_2024_67_07_607