Представлены результаты работы по созданию охлаждаемого микроболометра на основе керметных плёнок из смеси кремния и хрома. При построении свободно висящих высокоомных микроболометров этот материал использован впервые. Обсуждаются детали изготовления таких микроболометров и перспективы использования керметных плёнок при построении болометров. Представлены первые оценки чувствительности изготовленных микроболометров.
Пример ссылки для цитирования
Вдовичев С.Н., Вдовин В.Ф., Климов А.Ю., Мухин А.С., Ноздрин Ю.Н., Рогов В.В., Удалов О.Г. Охлаждаемые микроболометры сверхвысокочастотного диапазона на основе керметных пленок Si---Cr
// Изв. вузов. Радиофизика. 2016. Т. 59, № 8-9. C. 811–.