Представлены результаты работы по созданию охлаждаемого микроболометра на основе керметных плёнок из смеси кремния и хрома. При построении свободно висящих высокоомных микроболометров этот материал использован впервые. Обсуждаются детали изготовления таких микроболометров и перспективы использования керметных плёнок при построении болометров. Представлены первые оценки чувствительности изготовленных микроболометров.
Пример ссылки для цитирования:
Вдовичев С.Н., Вдовин В.Ф., Климов А.Ю., Мухин А.С., Ноздрин Ю.Н., Рогов В.В., Удалов О.Г. Охлаждаемые микроболометры сверхвысокочастотного диапазона на основе керметных пленок Si---Cr // Изв. вузов. Радиофизика. 2016. Т. 59, № 8-9. C. 811–.