В работе представлены результаты исследования сверхвысокочастотного (СВЧ) разряда, создаваемого непрерывным излучением гиротрона с частотой $30$ ГГц в смеси аргона и водорода с добавкой метана в области пересечения двух волновых пучков. Разряд поддерживался над подложкой и имел форму тонкого плазменного слоя. Методами оптической спектроскопии излучения проведены измерения температуры газа и концентрации электронов в плазме. Обсуждены особенности определения штарковского уширения спектральных линий атомарного водорода при невысокой (порядка $10^{13} см^{-3}$) концентрации электронов. Представлены зависимости концентрации электронов и температуры газа от давления и состава газа, а также мощности падающего СВЧ излучения. Отмечены перспективы применения исследуемого разряда для плазмохимического осаждения алмазных плёнок из газовой фазы.
Пример ссылки для цитирования:
Вихарев А.Л., Горбачёв А.М., Радищев Д.Б., Чернов В.В., Козлов А.В. Исследование непрерывного сверхвысокочастотного разряда в двух пересекающихся волновых пучках миллиметрового диапазона длин волн // Изв. вузов. Радиофизика. 2014. Т. 57, № 12. C. 969–983.