Исследование тонкопленочных оптических волноводов из нитрида кремния на кремниевых подложках

Иткин И.И., Морозов А.Г., Шандаров С.М. Исследование тонкопленочных оптических волноводов из нитрида кремния на кремниевых подложках // Изв. вузов. Радиофизика. 1988. Т. 31, № 4. C. 473–479.